仪器列表
聚焦离子束/电子束双束扫描电镜(FIB-SEM)
聚焦离子束/电子束双束扫描电镜(FIB-SEM)
仪器编号
规格
生产厂家
FEI
型号
FEI Helios Nanolab G3 UC
制造国家
美国
分类号
放置地点
吕志和楼B126
出厂日期
2017-02-22
购置日期
2017-02-22
入网日期
2017-02-22

主要规格及技术指标

卓越的高电流性能、最大束流到65 nA
·可实现极致样品质量的最低 FIB 能量(500 eV)
·15 光阑探测器
·Elstar 透镜内SE探测器 (TLD-SE)
·Elstar 透镜内BSE探测器 (TLD-BSE)
·Elstar 镜筒内SE 探测器(ICD)
·Elstar镜筒内BSE探测器 (MD)
·Everhart-Thornley SE探测器 (ETD)
·用于观察样品/镜筒的红外照相机
·安装样品室的导航照相机 Nav-Cam+™
·可伸缩的低电压、高衬度固态背散射电子探测器 (CBS)
·可伸缩的STEM 探测器,带BF/DF/ HAADF
·整合的电子束电流测量超高精度五轴压电驱动样品台

主要功能及特色

Helios NanoLab™采用FEI 在场发射扫描电镜(FESEM)和聚焦离子束(FIB)技术领域及其综合应用领域的最新发展成果。作为FEI 最新一代 DualBeamTM 平台,它拥有前所未有的超高分辨率二维和三维表征、高质量样品制备和非常规储层纳米级孔隙成像分析能力。
聚焦离子束FIB实现高精度的切割和高分辨的三维重构。
配备EasyLift机械臂可以制备透射样品。
Quorum PP3010T冷台可以进行冷冻样品的观察。

主要附件及配置

EasyLift EX NanoManipulator
Quorum PP3010T Cryo-SEM Work Station
Auto Slice and View G3软件
MAPS 软件

公告名称 公告内容 发布日期